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在超精密加工零件中，工件轮廓直线度误差与溜板的直线运动误差处于同一数量级(通常为亚微米量级)。电容、电感传感器有很高的分辨率和测量精度，很适合于高精度测量。但这类传感器测量的量程有限，所以用扫描法将位移测头安装在溜板上，沿工件的被测轮廓作直线运动，或者将传感器固定，工件随溜板一起运动，要想得到精确的工件轮廓直线度或溜板直线运动误差，便需要采用误差分离的办法。
